智慧財產及商業法院行政判決
110年度行專訴字第9號民國110年8月26日辯論終結原 告 美商恩特葛瑞斯股份有限公司（ENTEGRIS, INC.）代 表 人 Arlene Hornilla （Vice President ,Chief Inte
llectual Property Counsel ）訴訟代理人 張哲倫律師
陳初梅律師陳佳菁律師被 告 經濟部智慧財產局代 表 人 洪淑敏（局長）訴訟代理人 莊榮昌
參 加 人 家登精密工業股份有限公司代 表 人 邱銘乾（董事長）上列當事人間因發明專利舉發事件，原告不服經濟部中華民國109年12月10日經訴字第10906307390號訴願決定，提起行政訴訟，並經本院命參加人獨立參加本件被告之訴訟，本院判決如下：
主 文訴願決定及原處分均撤銷。
訴訟費用由被告負擔。
事實及理由
壹、程序事項：按言詞辯論期日，當事人之一造不到場者，倘無民事訴訟法第386 條規定之不得一造辯論判決之事由，得依到場當事人之聲請，由其一造辯論而為判決，行政訴訟法第218 條準用民事訴訟法第385 條第1 項前段、第386 條定有明文。查參加人受合法通知，無正當理由，未於言詞辯論期日到場，有送達回證1 紙在卷可稽（見本院卷第375頁），核無民事訴訟法第386 條各款所列情形，爰依原告之聲請，由其一造辯論而為判決。
貳、實體事項：
一、事實概要：原告前於民國92年7 月3 日以「標線載具」（後更名為「光罩載具及支撐光罩之方法」）向被告申請發明專利，申請專利範圍共20項，並以西元2002年7 月5 日申請之美國第10/190,347號專利案主張優先權，經被告核准予專利（公告號第I317967 號。下稱系爭專利）。原告復於107 年6月13日提出說明書及申請專利更正本，經被告准予更正並於108 年2 月21日公告。嗣參加人於108 年4 月25日以系爭專利請求項1 、3 至4 、6 至7 、9 至10、12至13、17有違核准時專利法第26條第3 、4 項、第22條第1 、4 項及專利法施行細則第18條第2 項規定，對之提起舉發。經被告認系爭專利前述請求項違反核准時專利法第22條第4項規定，以1
09 年4 月27日（109 ）智專三（二）04024字第1092038405
0 號專利舉發審定書為「請求項1 、3 至4、6至7、9至10、12至13、17舉發成立」之處分。原告不服，提起訴願，經經濟部以同年12月10日經訴字第10906307390 號訴願決定駁回後，向本院提起訴訟。本院因認本件訴訟之結果，倘認訴願決定及原處分應予撤銷，參加人之權利或法律上利益將受損害，乃依職權裁定命其獨立參加本件被告之訴訟。
二、原告聲明請求原處分關於「請求項1、3至4、6至7、9至10、12至13、17舉發成立，應予撤銷」之部分暨訴願決定均撤銷，並主張：
㈠被告及訴願機關未依法踐行「整體審查」之原則，亦未區辨
系爭專利請求項與證據2之不同，原處分及訴願決定當有違誤，且有理由不備之違法，應予撤銷：
⒈根據被告現行專利審查基準第二篇第3.3.1節「進步性之審查
原則」中之「整體審查」：「審查進步性時，應以申請專利之發明的整體（as a whole）為對象，不得僅針對個別或部分技術特徵，亦不得僅針對發明與相關先前技術之間的差異本身，判斷該發明是否能被輕易完成。」最高行政法院103年度判字第705號判決、106年度判字第747號判決及本院107年度行專訴字第42號判決、108年度行專訴字第2號判決意旨均肯認上開原則與判斷標準。
⒉原處分割裂系爭專利請求項之發明整體，僅針對發明之部分
技術特徵與先前技術間之差異，評斷二者功效相同（但功效相同不表示無進步性，遑論本件功效不同），沒有針對所欲解決之問題、技術手段、對照先前技術之功效等作整體考量，顯然違背整體審查原則。
㈡原處分並未踐行「逐項審查原則」：
1.根據被告所頒佈之現行專利審查基準第二篇第三章「專利要件」之第3.3節「進步性審查原則」之第3.3.3節「逐項審查」之說明「審查進步性時，應以每一請求項所載之發明的整體為對象，逐項作成審查意見，惟經審查認定獨立項具有進步性時，其附屬項當然具有進步性，得一併作成審查意見；但獨立項不具進步性時，其附屬項未必不具進步性，仍應分項作成審查意見。」此逐項審查之原則，亦為最高行政法院所肯認，此有最高行政法院判決98年度判字第1488號、96年度判字第1552號、95年度判字第1834號等判決可茲參照。
2.系爭專利請求項1、6、12均為獨立項，因此應分別、逐項作成審查意見，然針對獨立請求項6、12的撤銷理由，被告僅在原處分第21頁中段稱：「請求項6、12記載之內容與請求項1比較實質相同，且未如請求項1界定『斜角邊緣部』及『光罩定位凸片與光罩中間相鄰隅角嚙合』，如同前述，對於所屬技術領域中具有通常知識者基於證據2之技術內容應可輕易完成系爭專利請求項6、12之技術內容，且證據2亦可達到允許光罩橫向滑動使放置誤差被修正之功效，故證據2足以證明系爭專利請求項6、12不具進步性」等語。
3.惟如專利審查基準明揭「應以每一請求項所載之發明的整體為對象，逐項作成審查意見」，每一請求項係界定其各自所欲請求的發明，且具有各自的技術特徵，原處分竟泛指稱系爭專利請求項6與12與請求項1實質相同、差異僅有兩個特徵，隨即論結請求項6與12不具進步性。原處分顯然並未針對各個獨立請求項之各個技術特徵逐一比對，遽認請求項6、12不具進步性，顯違反逐項審查原則。㈢原處分認定系爭專利與證據2二者之差異為「簡單變更」，卻
無具體理由，有理由不備之違法；違反進步性審查之原則：關於「簡單變更」，被告所頒佈之106年7月1日施行版「專利審查基準」第二篇第三章「專利要件」之第3.4.1.2節規定：「針對申請專利之發明與單一引證之技術內容二者的差異技術特徵，若該發明所屬技術領域中具有通常知識者於解決特定問題時，能利用申請時之通常知識，將單一引證之差異技術特徵簡單地進行修飾、置換、省略或轉用等而完成申請專利之發明者，則該發明為單一引證之技術內容的『簡單變更』。」但，原處分並未陳明為解決何種特定問題，系爭專利所屬發明技術領域之通常知識者如何利用通常知識、利用何種通常知識，而可輕易將習知（證據2）單一構件置換為兩構件，故原處分理由不備。
㈣證據2無法證明系爭專利請求項1、3至4、6至7、9至10、12至13、17不具進步性：
⒈系爭專利採用光罩定位凸片與光罩限制器兩階段式的構造，
讓光罩可以藉由定位凸片在基部上進行一較大程度之不精準初始定位，並利用光罩限制器加以固持。蓋部蓋上時不會因為初始定位不夠準確而讓限制部件（例如像系爭專利之光罩限制器，或如同證據2之突起部24、25）隨蓋部下移時，造成光罩損傷。此乃系爭專利之功效，足以解決習知載具「無法將光罩放置在適當位置以便與限制部件嚙合」、「在光罩被限制部件嚙合之前，可能會不小心使光罩從適當位置偏移」或「光罩之位置偏移超過一定距離，則限制部件可能會嚙合在其表面上、而非嚙合其邊緣，如此將導致光罩產生刮傷或其他物理損壞」之問題。而證據2之發明目的在於固定
基板於容器、保持基板安定。又，證據2欲解決之問題為改良習知按壓於基板上之按壓構件。系爭專利解決之技術問題同前所述。是以，系爭專利與證據2所欲解決之技術問題全然不同。
⒉證據2採取之技術手段與系爭專利完全不同，證據2[0022]及
圖1揭露阻擋銷16b、17b及立板20、21之突出部界定一放置光罩之四方框形範圍。當光罩（基板15）被放置於盒中時，必須先被精準的放置於阻擋銷16b、17b及立板20、21之突出部所界定之四方框形範圍中，才能將蓋部蓋下。亦即，在蓋部蓋下之前，光罩之初期定位工作必須相當精準地被完成。證據2之第[0019]段揭露前門3係利用一鉸鏈機構(hinge)而與上蓋2之一端連接，如此前門3可相對上蓋2樞轉；第[0020]段揭露張力捲簧10之兩端分別連接前門3之銷6與上蓋2之銷8，而張力捲簧11之兩端分別連接前門3之銷7與上蓋2之銷9；因此，前門3就會因彈簧10的拉力而朝內側方向旋轉運動。此時，如果前階段的將光罩置於黃色區域之初期定位做得不夠精準，而使光罩部分偏移出由阻擋銷16b、17b及立板
20、21所界定之定位區域，則前門3受彈簧力旋轉閉合時必將擊傷光罩。另，證據2之前門3的突起24、25上的傾斜面24
a、25a僅僅係為了讓上蓋2與前門3在樞轉至關閉位置之過程中，前門3能以較平順的方式滑過光罩邊緣的小倒角，使突起24、25將光罩朝內抵頂固定。是以，證據2採取之技術手段顯然與系爭專利完全不同。
⒊系爭專利與證據2所達成之技術功效大不相同，系爭專利是
採用與習知技術反其道而行的方式，讓光罩即使在基座（支架）上之定位並不精確，但最後上蓋與基部上下配合後，仍能在不傷害光罩表面的情況下，將光罩正確定位於盒內的空間。關於證據2，其說明書第[0034]段係記載，基板會被機構元件包夾而確實保持於容器內之指定位置，不因振動、傾斜導致基板移動。是以，系爭專利與證據2所達成之技術功效大不相同。
⒋又證據2已限制基板之水平橫向移動，當基板15置於容器本
體1中之支持銷16a、17a、18a、19a上時，其水平橫向移動已被阻擋銷16b、17b及立板20、21之突出部(如20a)所限制
。證據2仍需要先大致準確定位光罩於基座上，否則將使光
罩（基板）損傷，證據2根本就不允許基板有較大誤差的不 精確放置，當光罩（基板15）被放置於盒中時，必須先被精
準的放置於阻擋銷16b、17b及立板20、21之突出部所界定之四方框形範圍中，才能將蓋部蓋下。若基板15在一開始沒有被放置在這個框形範圍，則當蓋部與基部配合時，蓋部之限制部件（突起部24、25等）即會壓傷基板。且證據 2並未在蓋部同時設置光罩定位凸片與光罩限制器，證據 2之傾斜面24a、25a僅是將已經相當程度精確放置之基板再加以夾擠至中；傾斜面24a、25a充其量僅與系爭專利實施例中之光罩制器之爪形帶有小斜角相當，或相當於被告先前已經審查過之數件系爭專利舉發案中出現之先前技術之蓋部之限制部件，並非等同光罩定位凸片，不能將較大誤差偏移之基板自可能被蓋部之限制部件撞傷之位置推到可被蓋部之限制部件嚙合之位置。
⒌證據2未揭露請求項1之「一蓋部，用於緊密配合該基部，該
蓋部具有一內表面，其上突設有複數個相間隔之光罩限制器及一對光罩定位凸片，該光罩定位凸片具有一斜角邊緣部」。證據2 之蓋2連接可旋轉打開的門3，並未揭露任何緊密配合之上蓋與基部之結構；樞接於蓋2之門3，嚴格來說不100%等同系爭專利之蓋部，則門3上的突起結構24、25是否可認為等同於系爭專利之自蓋部內表面突設之光罩定位凸片？不無疑問。又證據2未揭露請求項1之「當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合，該光罩定位凸片係被定位成與該光罩之光罩中間相鄰隅角嚙合」。證據2[0024]已說明24、25是為了「保持基板」於容器中，並無在固持基板之前能先將基板橫向推動至可進行固持作用的其他結構。當上蓋2完全蓋上時，有時前門3可能尚未關閉（否則何需設計可樞轉的前門3），故斜面24a、25a尚未接觸及推抵基板15。因此，24、25之倒角結構並非用以在上下蓋閉合時可橫向滑動迫使該光罩與光罩限制器嚙合之機構。證據2亦無任何定位凸片係被定位成與該光罩之光罩中間相鄰隅角嚙合之特徵。
㈤證據2與證據9之組合無法證明系爭專利請求項1、3至4、6至
7、9至10、12至13、17不具進步性：⒈證據9並未揭露或教示任何對應系爭專利光罩定位凸片之結
構。證據9是傳統採用基座角隅定位之光罩載具之技術，目的與手段在使當光罩一被放到光罩支架112上時，就使其快速、準確地下落到基座之定位。證據9並未揭露或教示如系爭專利請求項1、6、12所界定之光罩可在基座之光罩支架上橫向移動之特徵。
⒉又，證據9係要求當光罩初期置放在基部上時就下落到光罩
支撐件112之四個角隅128所決定之固定位置，其藉由光罩支撐件112之角隅128之低摩擦力斜面來促使光罩下落至該定位，而非由蓋部與基部配合時將光罩橫向滑移一段距離至與光罩限制器嚙合之位置。另，證據9之圖11之相關說明(見第9欄第61-67行及第10欄)係僅揭露光罩保持器114包含有一懸臂部146，證據9第10欄末端至第11欄第6行揭露該懸臂段僅是在光罩無法直接下落到基部的特定位置時，才輔助推擠其下落至定位；相對地，系爭專利位於蓋部之定位凸片本身就是直接用來推動並定位光罩於基部之工具，並非是一種可有可無的輔助性工具，且達成之光罩之移動是「橫向」的滑動，而非如證據9的懸臂段114讓未能準確下落至定位的光罩沿斜面向下滑動。換言之，證據9未揭露如系爭專利請求項
1、6、12所界定之用於當蓋部與基部相互配合時，可迫使光罩橫向滑動到達可被光罩限制器嚙合的位置的一種「用以定位光罩之凸片結構」。因此，無論如何組合證據2與證據9，本領域具有通常知識者也無法輕易思及或完成系爭專利之發明。
三、被告聲明求為判決原告之訴駁回，並抗辯：㈠證據2 足以證明系爭專利不具進步性：
系爭專利之斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩可在光罩支架上橫向滑動，而證據2 揭露基板15由傾斜面24a 、25a 導引向容器本體1 寬度方向的中央位置靠攏而定位，即系爭專利為前後滑動而證據2 為左右移動，雖然方向在定義上有所差異，惟二者均是靠傾斜面推光罩（基板）之角使光罩移動定位，達成之效果實質相同。另查系爭專利之蓋部用於緊密配合該基部，該蓋部具有一內表面，其上突設有複數個相間隔之光罩限制器及一對光罩定位凸片，上述內容僅界定蓋部在內表面上突設有複數個相間隔之光罩限制器及一對光罩定位凸片，而證據2 之上蓋2 與前門3 雖為二元件，然而將上蓋2 與前門3 彼此樞接後即可形成內凹之形狀，實與系爭專利之蓋部形狀類似，且二者均具內表面，證據2 在前門3 內面設突起部24、25，同樣係形成在內表面上。證據2之突起部24、25的傾斜面24a 、25a 可導引基板15向容器本體1 寬度方向的中央位置靠攏而定位，可對應於系爭專利之一對光罩定位凸片具有斜角邊緣部可橫向滑動迫使光罩橫向滑動，證據2 之突起部24、25的另一傾斜面24a 、25a 與面24b 、25b 引導按壓基板15定位，可對應於系爭專利之複數個相間隔之光罩限制器，使光罩與光罩限制器嚙合。證據2之基板15下表面由支持銷16a 、17a 、18a 、19a 支持而收納，並在擋止接腳16b 、17b 及立板20、21間而收納於容器內，能夠利用突起部24、25的傾斜面24a 、25a 導引基板15向容器本體1 寬度方向的中央位置靠攏移動，同樣地，系爭專利之光罩置於光罩支架上時，光罩亦被光罩側部定位元件左右限制，以確保光罩在光罩支架上適當的側向放置，光罩僅能夠被光罩定位凸片之斜角邊緣部推移橫向(前後) 滑
動，二者均只能一方向（前後或左右）被推移，另一方向與
限制元件(光罩側部定位元件、擋止接腳、立板) 鬆配合以利後續之推移動作。整體觀之，系爭專利於請求項中所載之技術內容已為證據2 所揭露，對於所屬技術領域中具有通常知識者基於證據2 之技術內容應可輕易完成系爭專利之技術內容，且系爭專利可達到允許光罩放置誤差被修正之功效，證據2 亦能達成同樣之基板放置誤差校正之功效，被告之舉發審定理由及訴願決定書均有詳細說明，故被告及訴願機關均依整體審查之原則，認定證據2 足以證明系爭專利不具進步性。
㈡證據2 、9 之組合自足以證明系爭專利不具進步性：
證據9 雖曾經於系爭專利另案之舉發案中被認定不足以證明系爭專利不具進步性，但本件舉發案係以證據2 及證據9 之組合來證明系爭專利不具進步性，舉發爭點與先前舉發案不同，並不影響本件舉發案認定證據2 、9 之組合足以證明系爭專利不具進步性。又查證據2 與證據9 同為光罩載具之相關技術領域，均為解決光罩運送時可能面臨之物理損害、污染等問題，以達到光罩儲存、保護、定位、運送之目的，所欲解決之問題及功能或作用具有共通性，對於所屬技術領域中具有通常知識者而言應有合理之組合動機，而證據2 已足以證明系爭專利不具進步性，所屬技術領域中具有通常知識者基於證據2 、9 之技術內容應可輕易完成系爭專利之技術內容，故證據2 、9 之組合自足以證明系爭專利不具進步性。
四、參加人經合法通知無正當理由而未到場，亦未提出任何書狀陳述意見。
五、本件法官依行政訴訟法第132 條準用民事訴訟法第463 條準用同法第271 條之1 、第270 條之1 第1 項第3 款、第3 項規定，整理兩造不爭執事項並協議簡化爭點如下：
㈠不爭執事項：
原告前於92年7 月3 日以「標線載具」（後更名為「光罩載具及支撐光罩之方法」）向被告申請發明專利，申請專利範圍共20項，並以西元2002年7 月5 日申請之美國第10/190,347號專利案主張優先權，經被告核准予專利（公告號第I317
967 號，下稱系爭專利）。原告復於107 年6 月13日提出說明書及申請專利更正本，經被告准予更正並於108 年2 月21日公告。嗣參加人於108 年4 月25日以系爭專利請求項1、3至4 、6 至7 、9 至10、12至13、17有違核准時專利法第26條第3 、4 項、第22條第1 、4 項及專利法施行細則第18條第2 項規定，對之提起舉發。經被告認系爭專利前述請求項違反核准時專利法第22條第4 項規定，以109 年4 月27日（109 ）智專三（二）04024 字第10920384050 號專利舉發審定書為「請求項1 、3 至4 、6 至7 、9 至10、12至13、17舉發成立」之處分。原告不服，提起訴願，經經濟部以同年12月10日經訴字第10906307390 號訴願決定駁回後，向本院提起訴訟。
㈡本件爭點：
⒈證據2 是否可證明系爭專利請求項1 、3 至4 、6 至7 、9
至10、12至13、17不具進步性？⒉證據2 、9 之組合是否可證明系爭專利請求項1 、3 至4 、
6 至7 、9至10、12至13、17不具進步性？
六、得心證之理由：㈠系爭專利技術分析:
⒈系爭專利為避免光罩定位於光罩盒內部時造成損壞，系爭專
利乃揭露一種光罩載具，其具有一基部與一蓋部。基部具有複數個光罩支架及複數個光罩定位部件。蓋部係用於緊密配合基部，並具有一內表面，其向內突設有複數個相間隔之光罩限制器及一對光罩定位凸片，各光罩定位凸片具有一斜角邊緣部，當蓋部與基部配合時，可使斜角邊緣部迫使光罩支架上之一光罩與光罩限制器嚙合，系爭專利主要圖式如本判決附圖一所示。
⒉系爭專利申請專利範圍分析:
原告(專利權人)於107年6月13日申請更正系爭專利申請專利範圍，經被告審查核准並於108年2月21日公告，系爭專利公告本所載請求項共20項，其中第1、6、12、19為獨立項，其餘為附屬項，原告所爭執之請求項內容請求項1、3至4、6至
7、9至10、12至13、17如下。第1項:一種光罩載具，用於承載光微影半導體製程中所使用
的光罩，該光罩通常係平面的，具有相對的上表面及下表面以及四個隅角，該載具包括：
一基部，具有至少一對相間隔的光罩支架，當光罩置於光罩支架上時，該光罩支架被定位且適於接觸及支撐光罩之下表面，該光罩係可在其上橫向滑動；及一蓋部，用於緊密配合該基部，該蓋部具有一內表面，其上突設有複數個相間隔之光罩限制器及一對光罩定位凸片，各該光罩定位凸片具有一斜角邊緣部，當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合，該光罩定位凸片係被定位成與該光罩之光罩中間相鄰隅角嚙合。
第3項:如申請專利範圍第1項之光罩載具，其又包含至少一閂鎖機構，用於將該蓋部鎖固至該基部。
第4項:如申請專利範圍第1項之光罩載具，其中，各該光罩支架包含一自該基部向上突出的肋條。
第6項:一種光罩載具，用於承載光微影半導體製程中所使用的通常為平面的光罩，包括：
一基部，具有複數個光罩支架，當光罩置於光罩支架上時，該光罩支架適於接觸及支撐光罩之下表
面；及一蓋部，用於緊密配合該基部，該蓋部具有一內表面、複數個光罩限制器及至少一自該內表面突出之光罩定位凸片，當該蓋部與該基部配合時，該光罩定位凸片適用於橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合。
第7項:如申請專利範圍第6項之光罩載具，其中，該光罩定
位凸片具有一斜角邊緣部，當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊緣部之方向係可與該光罩支架上之一光罩的上邊緣嚙合。
第9項:如申請專利範圍第6項之光罩載具，其又包含至少一閂鎖機構，用於將該蓋部鎖固至該基部。
第10項:如申請專利範圍第6項之光罩載具，其中，各該光罩支架包含一自該基部向上突出的肋條。
第12項:一種光罩載具，用於承載通常為平面的光罩，包括：
一基部，具有複數個光罩支架，當光罩置於光罩支架上時，該光罩支架適於接觸及支撐光罩之下表面；及一蓋部，用於緊密配合該基部，該蓋部具有一內表面、複數個光罩限制器及用於當該蓋部與該基部配合時，橫向滑動定位光罩使其與該光罩限制器嚙合之自該內表面突出之光罩定位凸片。
第13項:如申請專利範圍第12項之光罩載具，其中，各該凸
片具有一斜角邊緣部，當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊緣部之方向係可與該光罩支架上之一光罩的上邊緣嚙合。
第17項:如申請專利範圍第12項之光罩載具，其中，各該光罩支架包含一自該基部向上突出的肋條。
㈡舉發證據技術分析:
⒈證據2為西元1996年1月19日公開之日本特開平第8-17906號
「基板收納容器」專利案，其公開日早於系爭專利優先權日（2002年7月5日），可為系爭專利之相關先前技術。證據2第1〜6圖揭露一種基板收納容器，容器本體1具有4個墊塊16〜19，墊塊16〜19上設置支持銷16a〜19a，另墊塊16、17上分別設置擋止接腳16b、17b，墊塊18、19上分別設置立板20、21，基板15下表面由支持銷16a、17a、18a、19a支持而收納於容器内，並在突起部24、25及立板20、21間而收納；擋止接腳16b、17b和立板20、21之高度高於基板15上表面，用於防止基板15自容器本體1滑出；上蓋2的前方設有前門3可旋轉形成掀開閉合狀態，前門3内側設有二個突起部24、25，突起部24、25上形成有與基板導角的角度相對應的傾斜面24a、25a，此傾斜面中傾斜角度可設為任意角度，但以與基板導角之角度相符為佳，前門3閉合時，基板15由傾斜面24a、25a導引向容器寬度方向的中央位置靠攏而定位（證據2第[0030]段），證據2之主要圖式如本判決附圖二所示。
⒉證據9為2001年4月17日公告之美國第US 0000000B1號專利案
，其公告日早於系爭專利優先權日（2002年7月5日），可為系爭專利之相關先前技術。證據9為一種用於傳送例如半導體或光微影製程中之光罩等工作的標準機械界面容器(SMIF)，該標準機械界面容器具有容器門104以及外殼102，其中該容器門104之光罩支撐件112接觸及支撐光罩127之下表面，其中外殼102下設有光罩固定架114，透過容器門104與外殼102緊密配合將光罩127設置於標準機械界面容器中，證據9之主要圖式如本判決附圖三所示。
㈢原處分對證據2是否足以證明系爭專利請求項1、3至4、6至7、9至10、12至13、17不具進步性，有理由不備之情形:
⒈關於系爭專利請求項1：
⑴系爭專利請求項1為一種光罩載具，用於承載光微影半導
體製程中所使用的光罩，該光罩通常係平面的，具有相對的上表面及下表面以及四個隅角，該載具包括：一基部，具有至少一對相間隔的光罩支架，當光罩置於光罩支架上時，該光罩支架被定位且適於接觸及支撐光罩之下表面，該光罩係可在其上橫向滑動；及一蓋部，用於緊密配合該基部，該蓋部具有一內表面，其上突設有複數個相間隔之光罩限制器及一對光罩定位凸片，各該光罩定位凸片具有一斜角邊緣部，當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合，該光罩定位凸片係被定位成與該光罩之光罩中間相鄰隅角嚙合。
⑵經查，原處分第12至15頁已經比較系爭專利請求項1與證
據2，並得到系爭專利請求項1與證據2之差異在於：證據2之傾斜面24a、25a及可抑制基板之面24b、25b均位於突起部24、25而為突起部之不同面，不同於系爭專利請求項1之「複數個相間隔之光罩限制器及一對光罩定位凸片
」，故證據2不足以證明系爭專利請求項1不具新穎性，此為兩造所不爭執。
⑶被告於110年8月26日言詞辯論時辯稱關於進步性判斷部
分，於原處分第16至20頁及訴願決定書於第15至20頁已經有詳細論述（見本院卷第411頁言詞辯論筆錄）。亦即被告辯稱：「①證據2之突起部24、25上形成有與基板導角的角度相
對應的傾斜面24a、25a，該傾斜面24a、25a相當於系爭專利請求項1之『該光罩定位凸片具有一斜角邊緣部』，突起部24、25形成有自上方按壓基板15之角的面24b、25b，基板15藉由突起部24、25而被按壓向容器的內部方向，可抑制基板15自支持銷16a、17a上浮起，該可抑制基板之面24b、25b相當於系爭專利請求項1之『光罩限制器』。
②證據2第[0002]段揭露前門3閉合時，基板15由突起部2
4、25之傾斜面24a、25a導引向容器寬度方向的中央位置靠攏而定位（橫向位移），再以突起部24、25之可抑制基板之面24b、25b固定接觸（嚙合）基板15相當於系爭專利請求項1之『當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合，該光罩定位凸片係被定位成與該光罩之光罩中間相鄰隅角嚙合』。
③因此，證據2之傾斜面24a、25a及可抑制基板之面24
b、25b於「當前門3閉合時」亦可達到允許光罩橫向滑動使放置誤差被修正並被認定嚙合之功效，即與系爭專利請求項1之光罩定位凸片、光罩限制器及其相關技術特徵，達成之效果實質相同。
④雖然證據2之傾斜面24a、25a及可抑制基板之面24b、2
5b同屬突起部24、25構件上之不同面，此與系爭專利請求項1之光罩限制器及光罩定位凸片分屬不同構件之構成方式有別，但就實質作用及達成的功效並無不同，所屬技術領域具有通常知識者為因應光罩載具之空間布置及與其他構件之作動關係，將習知單一構件置換為兩構件予以達成相同效果之技術手段，誠屬簡單變更。
⑤證據2之突起部，與系爭專利請求項1之光罩定位凸片
及光罩限制器分屬二不同構件，二者採用之結構雖明顯有所差異，然由系爭專利圖式第9圖、第10圖所示及訴願代理人到部陳述之意見，系爭專利光罩定位凸片及光罩限制器二者仍須搭配作動，始能在光罩上部隅角滑移至斜角邊緣部方向末端時，進而卡合於配置在相應之光罩限制器之彈力臂凹口處，以便固持光罩，此與證據2之基板導角可經由突起部傾斜面24a、25a横向滑移至傾斜面邊緣末端後，直接卡固包覆於突起部抑制面24b、25b及傾斜面24a、25a二者形成之端角，進而迫使基板沿突起部傾斜面24a、25a横向滑動將基板推移至特定位置，以修正放置誤差，同時嚙合固持基板，二者所生之實質功效及作用並無不同，僅構件組設為單一或拆分成二個構件配合完成之差異，此應為所屬技術領域中具有通常知識者考量光罩載具空間配置及構件作動方式，依習知技術手段所能簡單變更完成者(訴願決定書第18、19頁)。
⑥證據2仍可利用突起部之一傾斜面24a、25a導引基板向
容器本體寬度方向的中央位置靠攏產生『横向滑動』，以調整基板位置，而與系爭專利同為由一方向推移基板，另一方向則由限制元件抵頂配合，以利推移固定基板。故二者所生滑動幅度與距離縱略有大小之別，因系爭專利請求項1並未就『橫向滑動』有何特別界定或限制，亦未具體說明該技術特徵有何特殊不同之功效或作用，尚難逕以系爭專利光罩定位凸片迫使光罩横向滑動距離略大，即認定系爭專利具有特殊無法預期之功效而具進步性(訴願決定書第19、20頁)。
⑦綜上所述，發明所屬技術領域中具有通常知識者基於證
據2之技術內容應可輕易完成系爭專利請求項1，故證據
2足以證明系爭專利請求項1不具進步性。」⑷惟按，審查進步性時，應以申請專利之發明的整體（as a
whole）為對象，不得僅針對個別或部分技術特徵，亦不得僅針對發明與相關先前技術之間的差異本身，判斷該發明是否能被輕易完成。且，進步性之判斷重點在於就先前技術與系爭專利之間的差異，該發明所屬技術領域中具有通常知識者參酌相關先前技術所揭露之內容及申請時的通常知識，是否能輕易完成申請專利之發明的整體，並非僅以兩者之間的功效高低以判斷進步性之有無(最高行政法院103年度判字第705號判決參照)。經查，原處分第17頁倒數第5至9行之記載：雖然證據2之傾斜面24a、25a及可抑制基板之面24b、25b同屬突起部24、25構件上之不同面，此與系爭專利請求項1之光罩限制器及光罩定位凸片分屬不同構件之構成方式有別，但就實質作用及達成的功效並無不同，而否定系爭專利之進步性。然而，原處分明顯僅針對系爭專利請求項1之部分技術特徵與先前技術間之差異，評斷二者功效相同，並未針對系爭專利所欲解決之問題、技術手段、對照先前技術之功效等作整體考量，實有違背整體審查原則。
⑸次按，所謂「簡單變更」係指針對申請專利之發明與單一
引證之技術內容二者的差異技術特徵，若該發明所屬技術領域中具有通常知識者於解決特定問題時，能利用申請時之通常知識，將單一引證之差異技術特徵簡單地進行修飾、置換、省略或轉用等而完成申請專利之發明者，則該發明為單一引證之技術內容的「簡單變更」。若申請專利之發明為單一引證之技術內容的簡單變更，則可判斷具有否定進步性之因素。若該單一引證或另一佐證之技術內容對於該簡單變更存在教示或建議，則於判斷是否具有否定進步性之因素時，得視為有力之情事。然查，原處分並未清楚交代為何系爭專利為證據2之簡單變更，理由如下：①系爭專利說明書於[先前技術]一節說明其所欲解決之技
術問題為：「限制部件」典型地係設計成可嚙合於光罩邊緣處，然而，如此將產生一問題，最初以手動方式將光罩定位在支承表面上者，可能無法將光罩放置在適當位置以便與限制部件嚙合，或者，在光罩被限制部件嚙合之前，可能會不小心使光罩從適當位置偏移。若光罩之位置偏移超過一定距離，則限制部件可能會嚙合在其表面上、而非嚙合其邊緣，如此將導致光罩產生刮傷或其他物理損壞。由此可知，即使是習知技術之「限制部件」，在嚙合光罩之前，光罩可能有一段程度之位置偏移，可能導致光罩產生刮傷或其他物理損壞。
②系爭專利解決問題之技術手段：是在習知限制部件（即
光罩限制器）之外，另在蓋部內表面設置設一「光罩定位凸片」；若光罩在一開始被放置在偏離光罩限制器所能固持光罩之基部水平位置時，若無光罩定位凸片150之作用，則蓋部與基部配合時，縱然用以固持光罩之光罩限制器可能被做成略帶導引斜角，仍不能順利將光罩橫向推移至基部上的正確定位處，而不免於壓傷光罩。
光罩定位凸片150即是能夠將光罩從這種不能正確定位以被固持之位置，藉由造成光罩橫向滑動一段距離t，使光罩得以到達基部之相對正確之定位而能夠被光罩限制器所固持的結構。
③詳言之，系爭專利採用光罩定位凸片與光罩限制器兩階
段式的構造，讓光罩可以藉由定位凸片在基部上進行一較大程度之不精準初始定位，並利用光罩限制器加以固持。蓋部蓋上時不會因為初始定位不夠準確而讓限制部件（例如像系爭專利之光罩限制器，或如同證據2之突起部24、25）隨蓋部下移時，造成光罩損傷。此乃系爭專利之功效，足以解決習知載具「無法將光罩放置在適當位置以便與限制部件嚙合」、「在光罩被限制部件嚙合之前，可能會不小心使光罩從適當位置偏移」或「光罩之位置偏移超過一定距離，則限制部件可能會嚙合在其表面上、而非嚙合其邊緣，如此將導致光罩產生刮傷或其他物理損壞」之問題。
④證據2所欲解決之問題顯然與系爭專利不同，原處分若
認為證據2可以證明系爭專利請求項1不具進步性，應再補強理由：
證據2中譯本第[0005]段所欲解決之先前技術之按壓
構件係指證據2第[0004]段中所指出之如日本專利特公平1-36255所揭示之盒件蓋部之按壓構件，其缺點為按壓構件可能直接按壓於基板之電路圖案上，又或者該基板中間按壓區域將無法具有電路圖案，故證據2對此加以改良，而將按壓構件改為設置於證據2旋轉門3（對應之旋轉門5）上的兩個突起狀角隅構件24、25。如前所述，系爭專利之主要係採「二階段式」結構與作動方式，自蓋部內表面突出之光罩定位凸片可橫向推動光罩到光罩限制器可順利嚙合光罩之位置；此種光罩載具可容忍光罩在基座上水平移動一段較大距離，利用蓋部上的光罩定位凸片推動其至基部之預定位置（定位）、再利用「光罩限制器」對已到達預定位置之光罩加以固持。根據以上所述，系爭專利與證據2所欲解決之技術問題並非相同。
證據2[0022]及圖1揭露阻擋銷16b、17b及立板20、21
之突出部界定一放置光罩之四方框形範圍。當光罩（基板15）被放置於盒中時，必須先被精準的放置於
阻擋銷16b、17b及立板20、21之突出部所界定之四方框形範圍中，才能將蓋部蓋下。亦即，在蓋部蓋下之前，光罩之初期定位工作必須相當精準地被完成。
是以，原處分既已自承證據2之突起部構件上之不同
二個面與系爭專利請求項1之光罩限制器及光罩定位凸片分屬不同構件之構成方式有別，卻未探討系爭專利與證據2於解決特定問題時是否相同，因此，原處分若仍認為證據2可以證明系爭專利請求項1不具進步性，則對於如何利用申請時之通常知識，經由證據2之教示可完成系爭專利之發明，應補強理由，更何況證據2之突起部，也並非僅僅簡單地進行修飾、置換、省略或轉用，即可對應於系爭專利請求項1之光罩限制器及光罩定位凸片，亦為原處分應再補強理由之處。
⑹再者，原處分記載：「…但就實質作用及達成的功效並無
不同，所屬技術領域具有通常知識者為因應光罩載具之空間布置及與其他構件之作動關係，將習知單一構件置換為兩構件予以達成相同效果之技術手段」。惟按，判斷是否具有進步性之標準來看，功能效果相同之物，而採用不同構造達成，仍屬可授予專利者。況且，原處分既已自承系爭專利請求項1與證據2之差異在於：證據2之傾斜面及可抑制基板之面均位於同一構件突起部24、25而為突起部之不同面，不同於系爭專利請求項1之「複數個相間隔之光罩限制器及一對光罩定位凸片」二個元件構造，若勉強將證據2之一個突起部24、25結構拆分對應於系爭專利之光罩定位凸片與光罩限制器（其為兩個不同功效之元件），而完全忽略系爭專利之發明係界定光罩定位凸片(及斜角邊緣部)可將光罩推動至與光罩限制器嚙合，僅僅以證據2揭露面24a、25a導引基板向中央靠攏而定位，即認定系爭專利之光罩定位凸片(及斜角邊緣部)與證據2之面24a、25
a 均是使光罩移動定位，達成之效果實質相同，理由尚有欠缺，因此，原處分提供之論理顯不足以說明或證明系爭專利請求項1不具進步性。
⑺綜上，本件尚待被告恪遵整體審查原則，以系爭專利請求
項1所載之發明的整體為對象，並將該發明所欲解決之問題/發明目的、技術手段及對照先前技術之功效，予以綜合考量，以完備不具進步性之理由。
⒉原處分第20至22頁載明系爭專利請求項6、12記載之內容與請
求項1比較實質相同，且未如請求項1界定「斜角邊緣部」及「光罩定位凸片與光罩中間相鄰隅角嚙合」，如同前述，對於
所屬技術領域中具有通常知識者基於證據2之技術內容應可輕易完成系爭專利請求項6、12之技術內容云云。然查，由於系爭專利請求項1、6、12為獨立項，請求項3、4為請求項1之附屬項，請求項7、9、10為請求項6之附屬項，請求項13、17為請求項12之附屬項，因原處分對於證據是否可以證明系爭專利請求項1不具進步性之理由不完備，已如前述，故原處分對於證據2是否足以證明系爭專利請求項3至4、6至7、9至10、12至13、17不具進步性之理由當亦不完備。
㈣原處分對於證據2、9之組合是否足以證明系爭專利請求項1、
3至4、6至7、9至10、12至13、17不具進步性，有理由不備之情形:
原處分第23頁僅記載「證據9與證據2均為光罩載具之技術，為相同或相關之技術領域，且均可乘載光罩並加以定位，具有功能或作用之共通性，對於所屬技術領域中具有通常知識者而言，組合證據2、9關連技術之動機係屬明顯，又因證據2足以證明系爭專利請求項1、3、4、6、7、9、10、12、13、17不具進步性，已如前述，當然證據2、9之組合亦足以證明系爭專利請求項1、3、4、6、7、9、10、12、13、17不具進步性。」等語。但是，有關證據2、9揭示之技術內容究竟如何組合2個證據可完成系爭專利請求項1之發明，原處分並未論述，加上原處分對證據2是否足以證明系爭專利請求項1、3至
4、6至7、9至10、12至13、17不具進步性，有理由不備之情形，已如前所述，故原處分對證據2、9之組合足以證明系爭專利請求項1、3至4、6至7、9至10、12至13、17不具進步性，亦有理由不備之情形。
㈤原處分有理由不備之情形，且被告並未於本件行政訴訟追補理由:
⒈按行政訴訟採職權調查原則，行政法院應依職權調查事實關
係，不受當事人主張之拘束（行政訴訟法第125條第1項參照），行政機關之追補理由既有助於法院發現客觀事實與法律依據，且符合訴訟（程序）經濟之要求。因此，於「未改變行政處分之本質與結果（同一性）」、「屬於裁判基準時已存在之理由」、「無礙當事人之攻擊防禦（程序保障權）」及「由行政機關自行追補理由」之前提下，自得允許行政機關於行政訴訟中追補行政處分之理由及其法律依據(最高行政法院109年度上字第722號判決意旨)。
⒉原處分對於證據2及證據2、9之組合是否均可以證明系爭專利
請求項1、3至4、6至7、9至10、12至13、17不具進步性之論述，有理由不備之情形，已如前述。本院就原處分理由不備之處，於準備程序由受命法官詢問被告訴訟代理人:「原告主張系爭專利所載發明之整體與證據2 不同，證據2 根本就不允許基板有較大誤差的不精確放置，證據2 之傾斜面24
a、25a充其量僅是將已經相當程度精確放置之基板再加以夾擠至中，被告未依法踐行整體審查之原則，亦即將該發明所欲解決之問題、解決問題之技術手段及對照先前技術之功效作為一整體予以考量，逐項進行判斷（行政訴訟起訴狀第2至8 頁），被告有何回應？」，被告訴訟代理人答稱:「請參原處分第19、20頁，橫向滑動精確度的問題、距離為何部分，在系爭專利說明書中沒有說明距離有多大，在證據2 中有具體揭示，認為系爭專利與證據2 是實質相同。」，又受命法官詢問被告訴訟代理人:「原告主張被告及訴願機關未正確理解系爭專利與舉發證據2間之差異，在認定舉發證據2
之何種結構對應系爭專利之光罩定位凸片、何種結構對應系爭專利之光罩限制器之基本前提上，恣意將證據2 的突起部兩個平行於光罩上表面的平面解讀為等同系爭專利之光罩限制器，卻未證明該二小平面具有系爭專利光罩限制器之限制光罩位置之效果（行政訴訟起訴狀第8至13頁），被告有何回應？」、「原告主張原處分認定系爭專利與舉發證據2二者之差異為『簡單變更』，卻無具體理由，有理由不備之違法，原處分並未陳明為解決何種特定問題，系爭專利所屬發明技術領域之通常知識者如何利用通常知識、利用何種通常知識，而可輕易將習知單一構件置換為兩構件（行政訴訟起訴狀第13至16頁），被告有何回應？」，被告訴訟代理人分別答稱:「引用原處分第19、20頁，沒有其他補充。」、「引用答辯書，無其他補充。」等語（本院卷第327至329頁），顯未就該理由不備為追補理由。至本件言詞辯論時，復經審判長詢問:「被告就原告稱24b、25b不能做到平移的功效有何意見？」，被告訴訟代理人陳稱:「此部分沒有意見，因為認為是利用24a、25a(垂直於24b、25b的傾斜面)做到平移的效果。」、陪席法官詢問:「 一、系爭專利當光罩放入光罩載具時，其四邊是否已經初步受限，證據2、證據9之光罩或基板放入該容器時，其四邊是否已初步受限？二、若系爭專利與證據2、證據9在上開問題有所不同，則系爭專利所謂允許較大推抵定位相較於證據2及證據9在功效上有何差異？ 」被告訴訟代理人陳稱:「系爭專利與證據2的初步橫向滑動的距離均受限於傾斜面的範圍，只能在此範圍才不會損害到光罩。」，審判長詢問:「針對證據2、證據9機械手臂在放定位時必須比系爭專利還更精確的定位，有何意見？」被告訴訟代理人答稱:「請求項中並未具體界定距離及滑動有多大，只是『橫向滑動』的文字。」、審判長詢問:「認為機械手臂放置光罩時需要精確定位不是限制條件？」被告訴訟代理人答稱:「是。」（本院卷第412至414頁），亦未就該理由不備為追補理由。
七、綜上所述，原告主張原處分對於證據2及證據2、9之組合均可以證明系爭專利請求項1、3至4、6至7、9至10、12至13、17不具進步性之論述，有理由不備之情形。是以，原處分所為「請求項1 、3 至4、6 至7 、9至10、12至13、17舉發成立」之審定，尚有未合，訴願決定予以維持，亦有違誤。從而，原告訴請撤銷原處分及訴願決定，為有理由，應予准許。
八、本件事證已明確，兩造其餘攻擊防禦方法，均與本件判決結果不生影響，爰不逐一論述，併此敘明。
九、據上論結，原告之訴為有理由，爰依智慧財產案件審理法第1條，行政訴訟法第98條第1項前段，判決如主文。
中 華 民 國 110 年 9 月 9 日
智慧財產第二庭
審判長法 官 汪漢卿
法 官 彭洪英法 官 曾啓謀以上正本係照原本作成。
如不服本判決，應於送達後20日內，向本院提出上訴狀並表明上訴理由，其未表明上訴理由者，應於提起上訴後20日內向本院補提上訴理由書；如於本判決宣示後送達前提起上訴者，應於判決送達後20日內補提上訴理由書（均須按他造人數附繕本）。
上訴時應委任律師為訴訟代理人，並提出委任書（行政訴訟法第241條之1第1項前段），但符合下列情形者，得例外不委任律師為訴訟代理人（同條第1項但書、第2項）。
得不委任律師為訴訟代理人之情形 所需要件 （一）符合右列情形之一者，得不委任律師為訴訟代理人 1.上訴人或其法定代理人具備律師資格或為教育部審定合格之大學或獨立學院公法學教授、副教授者。 2.稅務行政事件，上訴人或其法定代理人具備會計師資格者。 3.專利行政事件，上訴人或其法定代理人具備專利師資格或依法得為專利代理人者。 （二）非律師具有右列情形之一，經最高行政法院認為適當者，亦得為上訴審訴訟代理人 1.上訴人之配偶、三親等內之血親、二親等內之姻親具備律師資格者。 2.稅務行政事件，具備會計師資格者。 3.專利行政事件，具備專利師資格或依法得為專利代理人者。 4.上訴人為公法人、中央或地方機關、公法上之非法人團體時，其所屬專任人員辦理法制、法務、訴願業務或與訴訟事件相關業務者。 是否符合（一）、（二）之情形，而得為強制律師代理之例外，上訴人應於提起上訴或委任時釋明之，並提出（二）所示關係之釋明文書影本及委任書。
中 華 民 國 110 年 9 月 13 日
書記官 丘若瑤